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光電製程清洗設備
 
1. 雙面滾筒刷全自動洗淨裝置(2~6 inch)
專門用於2~6吋晶片。獨特的雙面滾筒刷設計,適用於Silicon,Compound, Sapphire,Quartz/Crystal,Oxide 材料的清洗。 只要使用表(界)面活性劑(surfactant)和純水(pure water),就可得到很好的清洗效果。
 
DSC-75(全自動)

DWSC-100(半自動)
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