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| 半導體製程設備 |
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FT-17（under φ130mm）/ FT-900（under φ200mm）平坦度測量系統
這是一個運用多重光干涉原理與相位差分析的量測設備，它可以量測粗糙與拋光的表面，量測範圍為 φ130mm / φ200mm以下的晶片（Sapphire，GaN etc.）、金屬碟、光碟、光罩等等。若是運用減少背面干涉的方式，它亦可以量測透明的材質。此系統有豐富的量測軟體可供選擇。 |
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ARIS光罩儲存系統
半導體光罩儲存系統用於IC光罩，液晶5~8代光罩儲存系統；OLED有機光罩儲存管理系統
ARIS 是一個光罩存儲自動化系統。經由機台自動讀取條碼與鍵盤的管控來達到電腦化的要求。同時多種類的光罩可經由客制化的軟體，達到儲存與管理的目標。 |
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